Progettazione del gruppo specchio a scansione SIC ultra luce

Struttura posteriore dello specchio di scansione ultra luce

Il corpo a specchio era realizzato in carburo di silicio e la struttura di supporto era realizzata in acciaio di indio. La rigidità di supporto e l'accuratezza della superficie del gruppo specchio di scansione sono simulate e analizzate mediante analisi degli elementi finiti e verificati mediante test effettivi.

Modello di elementi finiti del gruppo mirror di scansione

I risultati mostrano che il valore massimo medio di root medio (RMS) dell'errore di forma dello specchio di scansione è di 9,705 nm, il risultato del test effettivo 10,125 nm, l'errore è del 4% e soddisfa il requisito che il valore RMS dovrebbe essere inferiore a 12,6 nm in Il caso di gravità in tutte le direzioni e la coppia del bastone.

Risultato del test di precisione della superficie

La frequenza naturale del primo ordine del componente era 302,25Hz, che soddisfaceva i requisiti di rigidità. I risultati mostrano che il metodo proposto è ragionevole ed efficace, il che risolve il problema che la struttura ultra-leggera e la rigidità strutturale e l'accuratezza della superficie ottica sono difficili da garantire contemporaneamente.

Assemblaggio dello specchio di scansione

Sulla base del principio della manica del cono e della cerniera flessibile, viene proposto un gruppo mirror di scansione con supporto posteriore integrato. I parametri principali del collegamento flessibile sono determinati attraverso la simulazione numerica e il calcolo iterativo, che fornisce riferimento tecnico per l'ottimizzazione dei parametri della struttura di supporto flessibile.