Produzione di specchio asferico SIC da 720 mm

3. Ruota di rottura: la lucidatura ruvida migliora ulteriormente la rugosità superficiale e l'accuratezza della superficie degli specchi asferici SIC di apertura più ampi. Le piccole teste di macinazione CNC sono ancora utilizzate per la lucidatura ruvida e è coinvolta anche quest'ultima fase MRF-Magnetorheological Finishing. Dopo la lucidatura approssimativa, la superficie dello specchio entra nella fase della metrologia delle interferenze e può entrare nella fase di rivestimento SI dopo che il valore RMS di precisione della superficie è migliore di 1/10 λ.

4.SI rivestimento: il materiale vuoto dello specchio di un grande specchio asferico SIC di apertura utilizza spesso materiale SIC-spe di reazione, che ha una densità leggermente inferiore rispetto al materiale SIC-stampato a pressione. Al fine di migliorare la riflettività dello specchio asferico SiC di apertura più grande, uno strato di Si è placcato sulla superficie dello specchio per migliorare la densità della superficie.

5. Polisma di fulmine: dopo la modifica, lo specchio asferico SIC ad apertura più grande entra nella fase di lucidatura fine. Le piccole teste di macinazione CNC, la lucidatura del giro di stress e la finitura MRF-Magnetorheological sono spesso utilizzati nella fase iniziale della lucidatura fine per rimuovere lo strato relativamente sciolto sulla superficie modificata. Successivamente, le piccole teste di macinazione CNC, insieme alla figura del fascio ionico, vengono utilizzate per perfezionare l'accuratezza della superficie ai requisiti di progettazione. Allo stato attuale, l'accuratezza della superficie degli specchi asferici SIC di apertura più ampi può essere elaborata con un valore RMS a diametro pieno meglio di 1/60 λ o anche meglio.

Dopo diversi anni di accumulo tecnico, MG-Optics ha attualmente la capacità di sviluppare l'intero processo di specchio asferico SiC di grande apertura. Un set di specchio asferico SIC SIC di grandi dimensioni di 720 mm è stato completato con una precisione della superficie finale valore RMS a diametro intero meglio di 1/60 λ.